光刻机!清华大学宣布:中国光刻机技术获新突破

  日期:2021-03-01 19:17 阅读:  来源:科技在前方  
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现在中国国内光刻机是什么水平呢?是180nm水平,但是台积电、三星已经是5nm甚至开始3nm的研发,被寄以厚望的上海微电子即便是今年能够成功交付国产光刻机,那也只是28nm,这个先进光刻机,差了有点远。

国产光刻机迎来突破,清华大学宣布结果,可尴尬的问题还是来了

于是国内期待“弯道超车”的心态就更加明显,比如华为刚发布一条光刻机的招聘就有传言说华为2万人“闭关修炼”只为光刻机,甚至中科院刚将光刻机列为任务清单,就传来光刻机即将突破。

而近期清华大学传来一个消息,让不少网友看到了希望,可尴尬的问题还是来了!

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清华大学攻克光刻机核心技术!

清华大学近期公开一项研究,研发出了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”(SSMB),什么意思呢?

就是清华大学找到了一种别样的光源,而这个光源是优于此前EUV光刻机所采用的光源。

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我们都知道光刻机更多的是像一把“刻刀”,所采用的光源极为重要,如今是5nm、3nm今后对光源的要求也就越来越高!

而清华大学的这一次突破,是找到了具有高功率、高重频、窄带宽的特性光源,这将大大提升造芯的效率和质量。

尽管来说现在这项技术还在实验室,但依然值得为这些科研工作者点赞。

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国产光刻机的尴尬点在于什么?

国内是近些年才入局光刻机的吗?并不是,早在1956年我们就开始入局半导体领域,而在光刻机方面也是取得了不小的成绩,那个时候荷兰ASML公司还没有成立。

但是即便是入局早、有成绩,还是经不住“造不如买”的思想,于是就那么搁置了。

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其实早在2015年的时候就有消息称国产光刻机曾经送给国内一家晶圆厂,但是后来这个光刻机在厂房闲置,都落满了灰。

为啥不用?是不想用吗?其实并不是,而是前面我们提到的生态,一台国产光刻机和其他供应关系替换,这就像拿B型血给A型血的人输血,这,很难!

虽然新型粒子加速器光源(SSMB)还在实验阶段,但值得肯定的是,一旦持续的对技术进行攻关和上下游产业链配合获得成功,就有望解决中国在光刻机领域被“卡脖子”的难题。同时,这也将大大提升国产EUV光刻机自研的步伐。

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